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斜入射光柵單色器采用斜入射式結構，利?平面光柵進行分光，具有較高的傳輸效率，同時對光譜脈沖寬度展寬較小，可以實現點到點的單色光成像。主要用于極紫外波段的光譜測量和分光實驗。

真空紫外分光光度計是一種專用于真空紫外波段的光譜分析儀器，通過高真空或惰性氣體環境（避免氧氣、水蒸氣吸收干擾）實現深紫外光的精準測量。

采用像差校正超環面光柵進行衍射分光，可以在較寬光譜范圍內保證高的光譜分辨和光通量。 通過選配不同的光柵型號，可以實現10-300nm范圍的光譜覆蓋。